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应用材料公司申请用于全包围栅极元件的多层内部间隔物专利本案描述半导体元件(如全包围栅极(GAA)元件)、用于制造GAA元件的处理工具及制造GAA元

发布时间: 2025-07-25 11:59:25

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  专利摘要显示■★◆◆■◆,本案描述半导体元件(如,全包围栅极(GAA)元件)★★◆◆■◆、用于制造GAA元件的处理工具◆■■◆◆■,及制造GAA元件及用于GAA元件的多层内间隔物的方法。多层内间隔物包含形成在基板的顶表面上的超晶格结构内的内层、中间层及外层。超晶格结构具有交替排列成多个堆叠对的多个半导体材料层(如,硅锗(SiGe))及对应的多个沟道层(如,硅(Si))。在些实施例中,在集成沉积及蚀刻处理系统中原位进行所述方法。

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  金融界2025年7月22日消息,国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“用于全包围栅极元件的多层内部间隔物”的专利,公开号CN120359826A,申请日期为2023年10月◆★◆。

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